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      用什么方法可以鑒別晶體管等半導體設備中的不同物質(zhì)

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      提問者:網(wǎng)友 2017-01-27
      最佳回答
      半導體設備中紅外激活物質(zhì)會發(fā)出特征性近場光譜信號。通過這些信號就可以鑒別不同的物質(zhì)了。這些信號的捕捉需要散射式掃描近場光學顯微鏡來實現(xiàn)?,F(xiàn)在市面上唯一一臺分辨率可以達到10nm的散射式掃描近場光學顯微鏡(s-SNOM)是由德國生產(chǎn)的。 相關(guān)的文獻A.J.Huber等在2010年的Nanotech上有過發(fā)表的“Infrared spectroscopic near-field mapping of single nanotransistors”。 除了鑒別物質(zhì)外,散射式掃描近場光學顯微鏡還可以用與研究化學組成、晶體結(jié)構(gòu)、機械張力、輻射損傷、載流子濃度,遷移率、電場分布等,應用領域包括極性晶體、半導體納米設備、超材料和納米天線、納米線和納米顆粒、聚合物和蛋白質(zhì)等。 參考網(wǎng)站:百度上搜索“上海沃埃得貿(mào)易有限公司”
      回答者:網(wǎng)友
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