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MEAS壓力傳感器

: 問(wèn) 提問(wèn)者：網(wǎng)友 | 2018-07-11

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MEAS壓力傳感器：MEas壓力傳感器是基于?MEMS（微機(jī)電）技術(shù)，建立在微米/納米基礎(chǔ)上，在單晶硅片上刻融制作惠斯登電橋組成的硅應(yīng)變計(jì)，這樣制造的壓力傳感器具有輸出靈敏度高，性能穩(wěn)定，批量可靠性、重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)。下面從傳感器的制作工藝、結(jié)構(gòu)兩方面分析一下MEMS壓力傳感器綜合性能。先進(jìn)的制作工藝????經(jīng)500℃以上高溫熔化玻璃，將硅應(yīng)變片燒結(jié)在17－4PH不銹鋼傳感彈性體上，彈性體受壓變形后產(chǎn)生電信號(hào)，由帶微處理器的數(shù)字補(bǔ)償放大電路進(jìn)行放大，經(jīng)數(shù)字軟件進(jìn)行全智能溫度補(bǔ)償，輸出標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。在標(biāo)準(zhǔn)凈化生產(chǎn)過(guò)程中，參數(shù)嚴(yán)格受控，避免了溫度、濕度及機(jī)械疲勞的影響，具有頻響高、工作溫度寬等特點(diǎn)，保證了傳感器在工業(yè)惡劣環(huán)境中使用的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。????智能數(shù)字溫度補(bǔ)償電路將溫度變化劃分為若干小區(qū)間，每一個(gè)小區(qū)間的零位和補(bǔ)償值都被分別寫(xiě)入補(bǔ)償電路中，在使用中，這些值被寫(xiě)入受溫度影響的模擬量輸出路徑中，每一個(gè)溫度點(diǎn)都是該變送器的“校準(zhǔn)溫度”。????傳感器數(shù)字電路針對(duì)射頻、電磁干擾、浪涌電壓的工況進(jìn)行精心設(shè)計(jì)，具有抗干擾能力強(qiáng)，供電范圍寬、極性保護(hù)等特點(diǎn)?？煽康慕Y(jié)構(gòu)????壓力腔體采用進(jìn)口17－4PH不銹鋼整體加工，無(wú)"O"型圈、無(wú)焊縫，無(wú)泄漏隱患。傳感器過(guò)載能力為200%FS，破壞壓力為500%FS，適應(yīng)高壓力過(guò)載。針對(duì)液壓系統(tǒng)可能產(chǎn)生的瞬間壓力突變，傳感器內(nèi)置阻尼保護(hù)裝置，能有效抵御瞬間壓力沖擊。????因此，MEMS壓力傳感器具有輸出靈敏度高、性能穩(wěn)定、體積小巧、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)、重復(fù)性好等綜合性能，這也是它廣泛應(yīng)用于各領(lǐng)域的基本原因。3?　壓力傳感器的發(fā)展趨勢(shì)當(dāng)今世界各國(guó)壓力傳感器的研究領(lǐng)域十分廣泛,幾乎滲透到了各行各業(yè),但歸納起來(lái)主要有以下幾個(gè)趨勢(shì):(1)?小型化　目前市場(chǎng)對(duì)小型壓力傳感器的需求越來(lái)越大,這種小型傳感器可以工作在極端惡劣的環(huán)境下,并且只需要很少的保養(yǎng)和維護(hù),對(duì)周?chē)沫h(huán)境影響也很小,可?以放置在人體的各個(gè)重要器官中收集資料,不影響人的正常生活。如美國(guó)信息平臺(tái)的功能主要是研究和傳播環(huán)境保護(hù)法規(guī)和實(shí)施措施信息和技術(shù),為制造商提供很多?重要信息,如:—EU?指令和相關(guān)法規(guī);—進(jìn)口國(guó)國(guó)家法規(guī),特別是與EU?法規(guī)之間的差異;—進(jìn)口國(guó)WEEE?回收體系;—與WEEE?和RoHS?相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)和檢測(cè)方法;—進(jìn)口國(guó)合格評(píng)定要求;—進(jìn)口國(guó)行業(yè)組織的態(tài)度和實(shí)施要求;—危險(xiǎn)物質(zhì)替代的技術(shù)路線和動(dòng)態(tài);—符合要求的材料、元件和部件數(shù)據(jù): 回答者：網(wǎng)友

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